A Theta Probe mikro-fókuszálású röntgenforrásával és párhuzamos ARXPS analizátorával egyszerűvé és intuitívvá teszi a komplex vékony film méréseket. Kiegészíthetjük más analízis technikákkal is, mint amilyen az UV foto-elektron spektroszkópia, és számos minta-előkészítő opcióval.
A Theta Probe XPS berendezés egyedülálló lehetőséget nyújt arra, hogy szögfelbontásos XPS spektrumokat vegyünk fel párhuzamosan 60°-os szögtartományt lefedve és anélkül, hogy megdöntenénk a mintát. Ez teszi lehetővé az ultra vékony filmek roncsolás mentes jellemzését.
A Theta Probe XPS Kulcsparaméterei:
Párhuzamos ARXPS ultra-vékony film mérésekhez döntés nélkül
kis spot röntgensugárforrás finom elemzéshez
vegyérték állapot képalkotás (imaging)
Felső mintabeállítás koaxiális és off-axiális megvilágítással
nagyméretű minták kezelése
Ionforrás mélyprofilhoz
